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光敏型硅通孔聚合物绝缘材料
编号: 16050302
称号: 光敏型硅通孔聚合物绝缘材料
范畴: 材料科学
结果情势:
投资额: 面议万
案例数:
手艺阶段: 研发阶段
协作体式格局:

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本项目重要开辟面向三维硅通孔工艺的光敏型聚合物绝缘层质料以庖代传统下本钱、低可靠性的氧化硅工艺。光敏型硅通孔聚合物绝缘材料重要经由过程旋涂大概喷涂的工艺正在硅通孔内部制备保形涂层,同时经由过程暴光显影实现通孔底部胶层的图案化和知足旌旗灯号从正面到后头的导通,最初接纳高温固化工艺完成绝缘层的制备

技术参数

光敏型硅通孔聚合物绝缘材料加工工艺(左上),光敏型硅通孔聚合物绝缘材料的平面暴光显影(左下)和光敏型硅通孔聚合物绝缘对TSV(Ar=2:1)的保形涂覆截面示意图(左,a,c,e 从wafer圆心到边缘,b,d,f 是放大照片

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联系方式

张蜜斯
13640929125
zhang.siyuan@xincailiao.com

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